當前位置：首頁(yè) > 新(xīn)聞中(zhōng)心 > 技(jì )術資料

雙級反滲透系統回用(yòng)矽片清洗廢水

時間：2022-10-17

　　近年來，矽片産(chǎn)業發展迅速。矽片是制造晶體(tǐ)管和集成電(diàn)路的原材料。換句話而言，就是矽片是芯片制造的原材料。通常是晶矽的切片，通過光刻和離子注入的方法制成各種半導體(tǐ)器件，是半導體(tǐ)工(gōng)業中(zhōng)重要的原材料。随着矽片工(gōng)業的蓬勃發展，環境污染問題随之而來，産(chǎn)生了大量的廢水。生産(chǎn)廢水主要來自多(duō)晶矽錠切片過程的清洗環節。多(duō)晶矽錠經混酸表面處理(lǐ)後，在清洗過程中(zhōng)産(chǎn)生含酸廢水。由于表面處理(lǐ)是硝酸和氫氟酸的混合酸，清洗廢水中(zhōng)的主要污染物(wù)是pH、氟化物(wù)和鈣鹽。

　　采用(yòng)雙級反滲透系統對清洗廢水進行深度處理(lǐ)。通過預處理(lǐ)降低鈣離子和氟離子含量後，可(kě)滿足超濾系統進水要求。廢水進入超濾系統，超濾産(chǎn)水進入一級反滲透處理(lǐ)系統，産(chǎn)水進入産(chǎn)水箱，濃水進入二級反滲透系統進一步回收。

　　膜法矽片清洗廢水處理(lǐ)工(gōng)藝：

　　矽片清洗廢水→預處理(lǐ)→超濾→一級反滲透→二級反滲透→産(chǎn)水

　　兩級反滲透系統法回用(yòng)矽片清洗廢水中(zhōng)醋酸的過程是純物(wù)理(lǐ)常溫操作(zuò)工(gōng)藝，無化學(xué)反應，能(néng)耗低。整套反滲透系統可(kě)設計在線(xiàn)再生清洗排污裝(zhuāng)置，降低勞動強度和生産(chǎn)成本，提高生産(chǎn)效率。反滲透系統總回收率控制在75%左右，實現有(yǒu)效回收。膜元件填充面積大，系統占地面積小(xiǎo)，便于技(jì )術改造、擴建或新(xīn)建項目，降低了生産(chǎn)成本和投資。

下一篇：雙級反滲透系統回收PTA廢水中(zhōng)的醋酸上一篇：反滲透設備攻克工(gōng)業廢水處理(lǐ) 解鎖“零排放”